SSR スペクトル超解像(SSR)解析によるXPS測定の高速化 XPSのデータ取得間隔を広くし、短時間で測定したデータをスペクトル超解像（SSR）によって所望の解像度とすることにより、測定データの品質を損なわず、XPS測 … 続きを読む SSR