XPS-SR
スペクトル超解像(SSR)解析によるXPS測定の高速化
XPSのデータ取得間隔を広くし、短時間で測定したデータをスペクトル超解像（SSR）によって所望の解像度とすることにより、測定データの品質を損なわず、XPS測定の時間を大幅に短縮することが可能です。
SSR解析ソフトにより、各社装置で取得したXPSデータに対して適用可能です。
測定時間を大幅短縮
通常測定よりも測定の間隔（エネルギーステップ）を広くし、さらに1点当たりの取得時間を短くすることによって、測定時間を約90%削減。
測定データの品質を担保
SSR解析により、低解像度のスペクトルから高解像度のスペクトルを再構築。解像度の向上と同時にノイズも低減し、測定データの品質を担保します。
各種XPS装置と連携可能
各種XPS装置で取得したデータを、解析ソフトに入力、SSR解析が可能です。
SSRのXPS応用
運用イメージ
ユーザーの声
素材メーカーA社
SSR解析を利用することで、XPS測定・解析時間を半分以下に短縮することができ、研究開発のボトルネックを解消できるようになった。
素材メーカーB社
イオン中和を使用せずダメージレスでのXPS測定が可能となり、XPSの利用範囲が拡大した。
Expansion
SSRの応用事例
-
XPS計測の
高速化
測定点を低減し
測定時間の
短縮が可能 EELS分析の
高精度化
エネルギーシフトを
補正しながら
高精度の
スペクトルを再構築-
ポータブル
分光装置の
高精度化
小型簡易の
分光装置で
高精度の
測定を実現
SSRの応用展開
