XPS深さ方向分析へのスペクトル超解像対応のお知らせ

2026.09.30　お知らせ

SSRのスペクトル超解像技術は、X線光電子分光（XPS）の深さ方向測定データにも対応しています。

深さ方向測定では、測定する元素数や深さの数に応じて解析対象となるスペクトルデータが増加します。SSRでは、複数のスペクトルデータを効率的に処理するためのバッチ処理機能を提供しており、実際の解析環境でもご利用いただいています。